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金属涂层作为惯性约束聚变空心微球的保护层，对提高靶丸的性能具有重要的作用。利用磁控溅射技术和旋转与敲击相结合的驱动方式，在辉光放电聚合物微球表面溅射铝涂层，探究改变敲击间隔时长对微球涂层的影响。利用X射线照相机、白光干涉仪、扫描电镜和X射线衍射仪对微球铝涂层进行表征分析。结果表明：空心微球表面的铝涂层厚度为（2±0．1）gm，表面粗糙度控制在75nm以下，涂层表面光滑、无裂缝，呈柱状晶生长，（111）晶面为择优取向晶面，试验重复性好。同时发现：敲击能有效改善微球涂层生长过程中的阴影效应，增加涂层