【摘 要】
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提出了一种螺旋悬臂梁结构的可植入式压电能量收集器,这种结构的能量收集器可为植入式医疗器件供电.螺旋结构的设计一方面可以使悬臂梁从多个方向的振动中吸收能量,另一方面还可以降低谐振频率.提出的悬臂梁整体结构厚度为40μm,宽度为1 mm,整体外部大小为9 mm×9 mm.该结构中,悬臂梁的末端附上质量块,进一步降低悬臂梁的谐振频率.该收集器的谐振频率为66 Hz,当施加的激励为1g加速度时,输出开路电压为2.2V,输出功率为4.8μW.
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,南京210023
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提出了一种螺旋悬臂梁结构的可植入式压电能量收集器,这种结构的能量收集器可为植入式医疗器件供电.螺旋结构的设计一方面可以使悬臂梁从多个方向的振动中吸收能量,另一方面还可以降低谐振频率.提出的悬臂梁整体结构厚度为40μm,宽度为1 mm,整体外部大小为9 mm×9 mm.该结构中,悬臂梁的末端附上质量块,进一步降低悬臂梁的谐振频率.该收集器的谐振频率为66 Hz,当施加的激励为1g加速度时,输出开路电压为2.2V,输出功率为4.8μW.
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