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描述了拉晶条件和磁拉法对大直径ＣＺ硅单晶中氧的控制作用，并讨论了近期发展的ＣＣＺ法和ＬＦＣＺ法中与控氧相关的问题。
大直径CZ硅单晶的控氧技术
【摘 要】
：
描述了拉晶条件和磁拉法对大直径ＣＺ硅单晶中氧的控制作用，并讨论了近期发展的ＣＣＺ法和ＬＦＣＺ法中与控氧相关的问题。
【机 构】
：
中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
：
1998年06期
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