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研究了超薄铝膜的厚度与电阻率。晶粒度之间的关系。结果表明：随薄膜平均厚度减小，晶粒度减小，电阻率增大，呈现尺寸效应。综合利用Ｆ－Ｓ模型，Ｍ－Ｓ模型以及Ｍａｔｔｈｉｅｓｓｅｎ定则定量分析了表面和晶界的电子散射对电阻率尺寸效应的贡献。
超薄金属膜电阻率尺寸效应
【摘 要】
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研究了超薄铝膜的厚度与电阻率。晶粒度之间的关系。结果表明：随薄膜平均厚度减小，晶粒度减小，电阻率增大，呈现尺寸效应。综合利用Ｆ－Ｓ模型，Ｍ－Ｓ模型以及Ｍａｔｔｈｉｅｓｓｅｎ定则定量分析了表面和晶界的电子散
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1997年4期
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