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摘要：在采用封闭式阴极装置实现高速ELID磨削的基础上，对氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺机理进行了研究。通过与非ELID高速磨削工艺的对比，揭示了氮化硅陶瓷ELID高速磨削的工艺机理，并给出了其表面粗糙度、磨削力与工艺参数之间的变化规律。这些规律表明：ELID高速磨削工艺能大大地减小氮化硅陶瓷的表面粗糙度值及磨削力，获得较好的表面质量。此外，砂轮线速度和磨削深度对其表面粗糙度值没有显著影响，且变化没有明显规律；而工件速度对表面粗糙度值存在一定的影响，表面粗糙度值随着工件进给速度的提高而增加，即表面加工质