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期刊论文
半导体器件制造中的碱腐蚀
半导体器件制造中的碱腐蚀
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenwen0000
【摘 要】
:
在某些半导体器件制造中用碱腐蚀可使器件性能稳定,成品率提高。并对这一优点作了简要原因分析,提出了其注意事项。
【作 者】
:
宾雪生
【机 构】
:
贵阳八七三厂
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
半导体器件
碱腐蚀
玻璃钝化
制造
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在某些半导体器件制造中用碱腐蚀可使器件性能稳定,成品率提高。并对这一优点作了简要原因分析,提出了其注意事项。
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