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建立了电感耦合等离子体发射光谱法测定高纯氟化锂中钠、钾、镁、钙、铁5种杂质元素的分析方法。样品经硝酸消解后进行分析。研究结果表明，该方法对5种待测元素的加标回收率范围在98．47％～113．21％，相对标准偏差范围在4．46％～8．47％之间，方法的准确度和精密度均符合要求。本法简便、快速，能满足高纯氟化锂中多种杂质元素同时测定的分析需求。