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介绍了重掺锑硅单晶生长和应用中的主要特点，并对单晶生长过程中出现的关键问题，如锑的挥发，氧含量减少的原因进行了探讨并提出了一些解决办法。
CZ重掺锑硅单晶的锑和氧杂质
【摘 要】
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介绍了重掺锑硅单晶生长和应用中的主要特点，并对单晶生长过程中出现的关键问题，如锑的挥发，氧含量减少的原因进行了探讨并提出了一些解决办法。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年5期
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