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本文介绍洁净室空气处理系统自动控制的设计和应用。概述了MAH的控制原理．详细地阐述了洁净室露点和温度的控制，并简要地介绍了洁净室正压差控制和设备的群控原则。最后给出了PLC在半导体洁净厂房控制系统的应用实例。
基于PLC的洁净厂房空气处理控制系统设计
【摘 要】
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本文介绍洁净室空气处理系统自动控制的设计和应用。概述了MAH的控制原理．详细地阐述了洁净室露点和温度的控制，并简要地介绍了洁净室正压差控制和设备的群控原则。最后给出了P
【机 构】
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罗克韦尔自动化重庆分公司,重庆横河川仪有限公司
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2009年10期
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