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就不同电流密度对电解刻蚀精度及表面质量的影响进行了研究．结果表明，电流密度过大，表面质量较好，但杂散腐蚀现象严重；电流密度过小，精度较高但表面质量差，会出现不均匀腐蚀如点蚀、缝隙腐蚀等现象．当发生均匀腐蚀时，不同区域面积的表面质量相差不大．因此当电解刻蚀电流密度确定时，在均匀腐蚀的条件下应选择较小的电流密度，同时还要结合图案特征进行小范围参数优化．