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利用广角有限差分光束传播法（WA—BPM）对集成光学陀螺（IOG）用掺锗的二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计，详细分析了谐振腔的主要性能参数精细度F与各种损耗及光强耦合系数的关系。在优化设计基础上，在硅基底上利用等离子体增强型化学汽相沉积（PEcVD）法与反应离子刻蚀（RIE）制作了掺锗的Si02光波导环形谐振腔。经测试，在1550nm波长处，光波导传榆损耗为0．02dB／cm，环形谐振腔内总传输损耗仅为0．1dB／circuit，可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。