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介绍一种对超光滑光学基片及光学膜片表面进行微分散分布自动检测的微分散射仪。对散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述。该仪器已经工程化，正为激光陀螺的研制，生产服务。
自动测量超光滑表面微分散射的微分散射仪
【摘 要】
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介绍一种对超光滑光学基片及光学膜片表面进行微分散分布自动检测的微分散射仪。对散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述。该仪器已经工程化，正为激光陀螺的
【机 构】
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89820部队,国防科技大学应用物理系
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1999年6期
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