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Finite element analysis on factors influencing the clamping force in an electrostatic chuck

来源 :null | 被引量 : 0次 | 上传用户：yueaimeng

【作 者】

：

王兴阔  程嘉  王珂晟  杨义勇  孙钰淳  曹明路  季林红 

【出 处】

：

null

【发表日期】

：

2014年09期

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