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微细加工技术的原理和应用研究
微细加工技术的原理和应用研究
来源 :机电产品开发与创新 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hyy10123
【摘 要】
:
伴随着微机械和微机电系统的发展,微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,本文分析了微细加工的技术原理,指出了微细加工的应用和最新的发展及应
【作 者】
:
陈宏圣
【机 构】
:
泰山学院
【出 处】
:
机电产品开发与创新
【发表日期】
:
2008年5期
【关键词】
:
微细加工
微机械
自动化
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伴随着微机械和微机电系统的发展,微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,本文分析了微细加工的技术原理,指出了微细加工的应用和最新的发展及应用情况。
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