氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lt5185

【摘要】

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作者】

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杨盼赵晓冲杨丽军顾友辰林红赖新春

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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Ar流量 AZO 薄膜磁控溅射

【基金项目】

：

表面物理与化学重点实验室学科发展基金(ZDXKFZ201416);中国工程物理研究院发展基金重点项目(2014A0302015)

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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