【摘 要】
：
随着正规的超大规模集成电路时代的到来,硅片加工工艺的核心技术——光学光刻,从高分辨率和高套刻精度要求来看,分步重复光刻机逐渐成为主流。这一趋势从近十个公司的分步重
论文部分内容阅读
随着正规的超大规模集成电路时代的到来,硅片加工工艺的核心技术——光学光刻,从高分辨率和高套刻精度要求来看,分步重复光刻机逐渐成为主流。这一趋势从近十个公司的分步重复光刻机目前在日本国内销售情况也可明暸。其中,去年日本的“立石电机”与“美国通用信号”
With the advent of the formal VLSI era, the core technology of wafer processing technology - optical lithography, from the high resolution and high overlay accuracy requirements, step by step repeat lithography machine has gradually become the mainstream. This trend from nearly ten companies step by step repeat lithography machine sales in Japan is also clear. Among them, Japan’s “Lithium” and “General Motors”
其他文献
(一)数字电压表是一种能用数字直观地、精确地显示被测电压值的仪器。随着科学技术的发展,已被越来越广泛地应用于科研生产领域中。数字电压表的基本原理是利用模拟一数字转
汪曾祺以文名,被誉为美文家。他的小说和散文别具一格,在中国现代文学史上熠熠生辉。有意思的是,他的“正式身份”不是专业作家,而是北京京剧团的职业编剧;他自己也说过“我
影响PbS红外接收元件极化及稳定的因素很多。我们于1979年上半年用正交实验法进行实验所得初步结果表明,硫化铅薄膜上下双层电极,经适当的清洁处理和干燥步骤,加之适当的光
本文列举了郭锡良等编著的《古代汉语》(修订本)一书中出现的繁简字、脱文和衍文等三个方面的错误,并依据多种文献材料予以订正。
This article lists the mistakes made by
青岛是一座具有鲜明特色的城市。它依山傍海,风光秀丽,气候宜人,素有“东方瑞士”、“帆船之都”的美誉。虽然其历史不长,却饱经沧桑,五四广场上的标志性雕塑《五月的风》,记
去年以来,中国经济体制改革研究会和《中国改革》杂志一直在呼吁“将政府改革列入下一步改革的首要议程和关键步骤”。刚刚闭幕的两会通过了“十一五规划纲要”,在规划纲要的
在我们这个地方,有“留一点”的习惯.即每年丰收时,农民在采摘时总会留一点柿子、酸枣和地瓜之类的东西,并不全部收回去.rn一天,我们全家去郊游,来到一座山上.当我看着树上比
发射电流稳定器是一种能维持灯丝发射电流稳定的灯丝供电电源,它广泛地用于电离真空计和离子源中。目前绝大部分国产电离计电源仍使用着效率极低的连续调整式稳定电路,因此
(上接第3期第41页)rn毛笔书写的笔画线条所蕴藏的人格、心态信息比硬笔更多更丰富,这就是说书写人在运笔过程中所“投射”与“反射”的个人因素含量更大,如果执笔不对,运笔不