论文部分内容阅读
介绍一种硅应变计，通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验，测试结果表明，氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技术制作的同类产品。
硅应变计的氮化硅钝化新技术
【摘 要】
：
介绍一种硅应变计，通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验，测试结果表明，氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技术制作的同类产品。
【机 构】
：
信息产业部电子第四十九研究所
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2000年6期
其他文献
介绍石油产品测定数据处理器的结构、功能及设计方案.
采用气相色谱-质谱提取离子的方法测定了生物检材中毒鼠强的含量.毒鼠强的线性范围为0.05～50ng,检出限为0.01 ng,以苯为溶剂,毒鼠强的提取回收率为93.5%,RSD为4.96%(n=5).方法
介绍便携式温度校准装置的研制过程及应用.对该装置的结构、特点、温度校准原理、性能指标等进行了说明,该装置测量范围为50～400℃,测量不确定度为0.71℃,解决了生产设备上的
利用单柱离子色谱系统,以NaHCO3-Na2CO3溶液为流动相,对葡萄糖酸钙中的草酸根进行分离,并用电导检测法测定了葡萄糖酸钙中草酸根的含量.线性回归方程为y=1.147x+1.568,相关系