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在聚碳硅烷(PCS)先驱体转化法制备SiC涂层的浸渍工艺参数中,浸渍溶液的PCS浓度对涂层形貌影响最大,而其他参数的影响很小.当PCS的浓度不大于30%时均可以获得均匀、致密的SiC涂层.随着PCS浓度的增大,涂层厚度增加;单次浸渍可获得的SiC涂层最大厚度为1～2μm.
PCS先驱体转化法制备SiC涂层的浸渍工艺
【摘 要】
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在聚碳硅烷(PCS)先驱体转化法制备SiC涂层的浸渍工艺参数中,浸渍溶液的PCS浓度对涂层形貌影响最大,而其他参数的影响很小.当PCS的浓度不大于30%时均可以获得均匀、致密的SiC
【机 构】
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清华大学核能技术设计研究院
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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2003年3期
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