【摘 要】
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铂(Pt)是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽(Ta)为粘附层的Pt敏感薄膜,研究了不同退火温度、退
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安交通大学苏州研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金(21805221);江苏省自然科学基金(BK20160389);苏州市重点产业技术创新(前瞻性应用研究)项目(SYG201832)~~
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铂(Pt)是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽(Ta)为粘附层的Pt敏感薄膜,研究了不同退火温度、退火气氛和退火时间下的Pt薄膜结构以及电学性能方面的差异。结果表明:退火增强了薄膜的结晶化且使晶粒发生长大,从而有效降低了薄膜的电阻率。但过度退火,如退火温度超过1000℃或过长的退火时间,会导致粘附层中的Ta元素向Pt薄膜中过度扩散,从而增加Pt薄膜的电阻率。在高纯N2(99.999%)、超纯N2(99.9999%)及空气三种气氛中退
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