【摘 要】
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基于尺寸差异原理设计制作了一种-PDMS键合的细胞分选芯片。采用MEMS加工工艺，分别制作出特征尺寸都是20μm的3种不同形状分选孔阵列的硅基片和PDMS盖片，使用电晕放电仪实现硅－P
【机 构】
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西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（编号：60976087）
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基于尺寸差异原理设计制作了一种-PDMS键合的细胞分选芯片。采用MEMS加工工艺，分别制作出特征尺寸都是20μm的3种不同形状分选孔阵列的硅基片和PDMS盖片，使用电晕放电仪实现硅－PDMS键合。用聚苯乙烯微球和MG-63人骨肉瘤细胞进行实验，微球实验说明了不同形状分选孔阵列的分选结果特征，细胞实验实现了不同大小MG－63细胞的分选，为最终实现不同种细胞分选打下了基础。
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