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使用单层钎焊金刚石薄壁钻,进行钻磨氮化硅陶瓷的试验。首先研究氮化硅陶瓷材料的去除机理,主要包括脆性去除和塑性去除,且脆性去除占主要部分。其次研究刀具壁厚、主轴转速和钻压对加工效率的影响。结果表明：三个参数存在的最佳值分别为1.5 mm、710 r/min和613 N；并且壁厚不宜超过2 mm,主轴转速不宜超过900 r/min,钻压应在500~705 N 范围内,钻压低于330 N 时刀具会打滑。