【摘 要】
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为了更好地研究低温等离子体,设计一款高重频、高效率和良好稳定性的等离子体脉冲激励源至关重要。分析了实现零电压开关的原理,基于移项控制ZVS(Zero Voltage Switching)全
【机 构】
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华北理工大学机械工程学院,河北省工业机器人产业技术研究院
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为了更好地研究低温等离子体,设计一款高重频、高效率和良好稳定性的等离子体脉冲激励源至关重要。分析了实现零电压开关的原理,基于移项控制ZVS(Zero Voltage Switching)全桥变换器设计了等离子体脉冲电源主电路,它以IGBT作为开关管,由UC3842芯片对其驱动波形进行移项控制;通过Multisim建立了仿真模型,在验证主回路实现了零电压开关的情况下,变压器副边在1 kΩ的负载上输出了频率40 kHz、幅值5.2 kV的窄脉冲方波。
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