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以HfCl4为原料,NaBH4为沉淀剂,聚乙二醇(PEG)为表面活性剂,分别采用溶胶-凝胶法和沉淀法制备出HfO2纳米粉。并采用TG-DTA、XRD、SEM方法,对制备的前驱体、纳米粉体进行了分析和表征。研究了不同的制备方法对粉体粒径、粒子的影响。结果表明:溶胶-凝胶法制备出纳米粉体呈单斜晶型,平均粒径为20nm左右,粒子为球形,分散性较好;加入表面活性剂聚乙二醇,粒径变大,分散性变差;而化学沉淀法制备出纳米粉体,有少量晶须生成,晶须直径30nm,长度200nm。