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采用射频磁控溅射工艺，在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx／ITO／PET多层薄膜：利用X射线光电子能谱（XPS）分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及。元素的化合环境。结果表明：WOx薄膜着色态中存在W6^＋和W^5＋的混合价态，而在退色态中W元素的化合价仅为W^6＋；钨离子的不同价态和氧离子的不同化合环境的变化与WOx薄膜的电致变色机制密切相关。