基于FBG温度解耦的光纤法布里-珀罗高温压力传感器

来源 :测试技术学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：songking515

【摘要】

：

本文提出了一种基于光纤布拉格光栅(FBG)温度解耦方法的光纤法珀(FP)压力传感器,该传感器采用低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现批量化制作.通过在膜片式压力传感器的基础上集成光纤布拉格光栅(FBG),实现温度、压力双参数测量;提出温度解耦方法,对传感器进行温度补偿及压力测量结果的修正.实验结果表明,在20～300℃的温度范围内, FBG温度传感器的灵敏度为0.012 nm/℃,在160 kPa的压

【作者】

：

陈宝杰刘佳贾平岗梁庭洪应平熊继军

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

【出处】

：

测试技术学报

【发表日期】

：

2020年04期

【关键词】

：

光纤法珀光纤布拉格光栅压力传感器温度传感器低温共烧陶瓷 fiber Fabry-Perot cavityFBGpressure sensortemper

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51935011),山西省自然科学基金资助项目(201901D111160),山西省“1331项目”重点学科建设资助项目

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