【摘 要】
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在钕铁硼（Nd Fe B）磁体表面利用磁控溅射沉积不同锰含量的铝锰合金薄膜。磁控溅射制备的铝锰合金薄膜表面光滑致密。薄膜结构受到锰含量的影响,当薄膜锰含量从6.80at%上升到25.
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在钕铁硼（Nd Fe B）磁体表面利用磁控溅射沉积不同锰含量的铝锰合金薄膜。磁控溅射制备的铝锰合金薄膜表面光滑致密。薄膜结构受到锰含量的影响,当薄膜锰含量从6.80at%上升到25.78at%时,薄膜结构由晶态逐渐转变为非晶态,达到35.67at%时,薄膜中析出金属间化合物Al8Mn5。铝锰合金薄膜的耐腐蚀性能受薄膜成分变化的影响很大,当薄膜中锰含量达到25.78%时,此时薄膜呈非晶态结构,薄膜的自腐蚀电流密度达到1.198×10-7A/cm2,比钕铁硼基体降低了2个数量级,耐腐蚀性能最好。
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