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滤波器是信号传输系统中的重要组件．提出一种快速、高精度复制工艺方法，用于设计和制备WR．10波段矩形波导滤波器．采用多层匀胶单次紫外曝光工艺（硅片上匀SU-8胶），制备出的滤波器高度误差小于0．03％（3μm），陡直度误差小于1．1°．实验结果表明，用该方法制备毫米波滤波器技术可行，并取得了卓越的电磁性能（关于：插入损耗，回波损耗和带宽）．最终测试结构可知，通带内的插入损耗测得结果小于0．5dB，几乎可以忽略不计，在整个通带内回拨损耗大于加dB．结果表明，这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一