【摘 要】
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微小器件热特性具有快速产生、不可逆、易损坏器件等性质,较难在瞬间捕捉到它变化的一些信息.为了研究微小器件热特性,本文引入了一种测试器件热性能的新方法——反射率热成
【机 构】
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北京微电子技术研究所,兰州空间技术物理研究所
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微小器件热特性具有快速产生、不可逆、易损坏器件等性质,较难在瞬间捕捉到它变化的一些信息.为了研究微小器件热特性,本文引入了一种测试器件热性能的新方法——反射率热成像法,并对该种方法的成像原理、功能应用作了简单介绍.在实际测试小器件热特性过程中,应用反射率热成像系统与红外热像仪进行了对比测试,结果表明：反射率热成像系统空间分辨率更高,达到亚微米量级;时间分辨率更高,达到百纳秒级;对样品温度要求低,温度范围更大,不需要对样品加热;只需对新材料进行校准,无需对样品表面进行逐点校准.在要求高分辨率、超快速的微小尺
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