论文部分内容阅读
在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中，为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求，平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0．43″。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统，可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0．166″，光栅转角重复精度为0．149″，分辨率达到0．03″，满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外，还测量了光栅切换机构的重复精度。