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衍射光栅是一种非常精密的光学元件，它们通常是用金刚石刀具刻划的。为了使光栅有较高的衍射效率，金刚石刻划刀应有精确的角度。正确选择金刚石晶格的方向对提高刀具的寿命非常重要。光栅刻划刀刀刃的粗糙度好于８ｎｍＲａ。
超精密金刚石刀具—衍射光栅刻划刀
【摘 要】
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衍射光栅是一种非常精密的光学元件，它们通常是用金刚石刀具刻划的。为了使光栅有较高的衍射效率，金刚石刻划刀应有精确的角度。正确选择金刚石晶格的方向对提高刀具的寿命非常
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年3期
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