【摘 要】
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据《中国电子报》2007年4月17日报导,集成电路芯片制造技术是指完成集成电路芯片制造过程的一系列特定的加工工艺技术。这一系列技术包括:掩模制造、氧化、掺杂、外延、光刻
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据《中国电子报》2007年4月17日报导,集成电路芯片制造技术是指完成集成电路芯片制造过程的一系列特定的加工工艺技术。这一系列技术包括:掩模制造、氧化、掺杂、外延、光刻、刻蚀、互连等多项技术,而每一项技术之中又包含若干子技术。当前,世界上规模化生产的集成电路芯片制造
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