为研究高新技术产业创新效率的演化规律,探索该产业龙头园区高质量发展的基本特征,文章使用2010年～2015年中关村科技园数据,使用随机前沿模型测度了6年间科技园高新技术企业创新效率的演化规律,并结合多水平模型深入研究不同因素对企业的影响程度以及影响机制的异质性。结果显示:(1)科技园产业创新效率整体仍处于偏低水平,但有逐年提升的趋势,不同企业提升速度差异较大;(2)非国有企业整体的创新效率比国企的更高,且提升速度也更快;(3)企业规模增大有利于创新效率的提升,且这种趋势在不同企业之间相对比较一致;(4)政府支持有效地提高了高新技术企业创新效率,但作用强度在不同企业中差别较大,对非国有企业的支持效果相对更好;(5)金融支持还未发挥出对企业创新研发的显著支撑作用,仍有较大潜力需要释放。