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按照电化学原理分析硅片化学腐蚀过程，阐述了择优与非择优腐蚀的机理，研究了一套硅片化腐新工艺。这些工艺在电力半导体器件生产中得到了成功的应用。
硅片化学腐蚀及其在电力半导体器件中的应用
【摘 要】
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按照电化学原理分析硅片化学腐蚀过程，阐述了择优与非择优腐蚀的机理，研究了一套硅片化腐新工艺。这些工艺在电力半导体器件生产中得到了成功的应用。
【机 构】
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中南工业大学
【出 处】
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电力电子技术
【发表日期】
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1999年3期
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