MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：txl8909

【摘要】

：

为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究.由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少.本文分析

【作者】

：

刘林生刘肃黄庆安

【机构】

：

兰州大学,兰州大学,东南大学

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

磁导率磁化强度在线测试结构微机电系统薄膜 magnetic permeabilitymagnetization intensityin situ rest

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究.由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少.本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合MEMS在线测试的特点提出了一种比较适合MEMS在线测试的新结构.

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