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对二氧化硅薄膜沉积技术中的主要化学方法、化学气相沉积等进行讨论,综述不同温度条件下各种沉积的方法及其发生的主要化学反应。
二氧化硅薄膜沉积技术的主要化学反应与方法
【摘 要】
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对二氧化硅薄膜沉积技术中的主要化学方法、化学气相沉积等进行讨论,综述不同温度条件下各种沉积的方法及其发生的主要化学反应。
【机 构】
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包头职业技术学院人文与艺术设计系
【出 处】
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包头职业技术学院学报
【发表日期】
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2008年03期
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