【摘 要】
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基于斜率检测的相位偏折术能够快速、简单、准确地测量光学元件面形和透射光学元件畸变波前。借助点光源显微测量系统对参考点坐标的准确测量提出了空间直线预标定的方法，利用
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）（2015AA015902）资助项目
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基于斜率检测的相位偏折术能够快速、简单、准确地测量光学元件面形和透射光学元件畸变波前。借助点光源显微测量系统对参考点坐标的准确测量提出了空间直线预标定的方法，利用它得到了相机中CCD面阵上每个像素对应每条光线的方向向量，通过每条光线的方向向量和被测面方程，追迹得到了被测面的世界坐标，从而求出被测面上各点斜率，采用波前重建算法，实现了光学元件面形的准确重建。实验结果显示，拟合面形去掉Zernike多项式前4项的RMS数据与干涉仪的测量结果最大相差仅约10nm，并且实验中重建的面形与利用张正友提出的标定方法坐
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