【摘 要】
：
为实现193nm投影物镜光学元件的超光滑加工,介绍了一种非接触式微射流超光滑表面加工方法,对该方法的材料去除特性和超光滑加工效果进行研究。首先,采用计算流体动力学理论对
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
论文部分内容阅读
为实现193nm投影物镜光学元件的超光滑加工,介绍了一种非接触式微射流超光滑表面加工方法,对该方法的材料去除特性和超光滑加工效果进行研究。首先,采用计算流体动力学理论对其材料去除机理进行了仿真研究,通过对微射流流场的压力、速度和表面剪切力的分析得到其去除函数形状与表面剪切力的分布相反,呈现W型。随后,采用正交法对各工艺参数对抛光效果的影响进行了综合分析,结果表明材料去除效率随入射速度和磨料浓度的增大而增大,随工作距离增大而减小,并且工作距离具有显著影响,为实验研究中工艺参数的选取提供了指导意义。最后,在自
其他文献
供应链金融模式成为解决中小企业融资难的有效方式,其改变了过去银行等金融机构对单一企业主体的授信模式,充分利用了产业供应链结构特点及对商品交易细节的把握,围绕核心企
<正>当前,我国房地产市场区域发展不均衡、供需关系不匹配等现象较为普遍,引起了各方关切。其中的住宅市场,由于直接关系到民生问题,更是受到了全社会的广泛关注。从本质上看
现代管理主义的兴起对学术产生了冲击,使得学术职业的传统和特有的价值理念受到了前所未有的冲击,使学术不端行为的产生成为必然。现行学术评价机制的缺陷主要包括考核指标体
目的研究CD34和CD105标记的微血管密度在喉咽鳞状细胞癌中的表达差异,分析其与肿瘤临床特性的关系。方法采用免疫组化PV-9000二步法,分别对68例喉咽鳞状细胞癌组织及32例正常
指纹图像是由黑白相间的脊线、谷线排列在一起而构成的特殊灰度图像,反复出现的反差边缘、周围的背景区域使得指纹图像具备低、中、高三种不同的频率成分,本文利用小波包变换和频谱分析提出了一种基于频率分级的指纹图像压缩算法,对包含能量最多的低频子图像,采用无损差分脉冲编码(DPCM)算法;对包含能量较少的中频子图像,采用嵌入式小波零数编码(EZW)算法;对包含能量最少的高频子图像,采用集合分裂嵌入块编码(S
基于视觉的行人计数技术因其广阔的应用前景逐步成为智能视觉监控领域的一个研究热点。本文提出了一种基于虚拟门上前景像素点个数的行人计数方法。该方法分为学习和计数两个过程。在学习过程中,本方法采用基于行人检测的方法获取场景中的若干行人模型,并利用线性拟合为虚拟门上的点赋予权重。在计数过程中,本方法在考虑虚拟门上前景像素的权重、运动矢量的大小和方向等信息的基础上,逐帧统计虚拟门上前景点个数,通过特定时间内
国际私法的产生是与各国民法的比较研究密不可分的 ,而国际私法产生后 ,比较国际私法又成为国际私法研究的重要对象。用比较方法论来研究国际私法是一个重要而独特的视角 ,它
针对光刻对准系统的微纳级对位精度,本文提出一种在图像相关识别的理论分析基础上,利用纯相位匹配滤波算法以及它所特有的相干峰高度旋转敏感特性而进行投影式光刻对准的新型套刻技术。该技术可求得在套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的量化驱动值,其对位精度与对位效率显著提高。通过实验数据证明了该理论的实验可靠性与有效性。