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α—Al2O3衬底上生长的GaN膜的光学性质
α—Al2O3衬底上生长的GaN膜的光学性质
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yyw2dy2001
【摘 要】
:
采用金属有机化学气相淀积方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六
【作 者】
:
杨凯
黄振春
【机 构】
:
南京大学物理系,美国马里兰大学电子工程系
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1996年10期
【关键词】
:
Α-AL2O3
薄膜
光学性质
三氧化二铝
?Al2O3 substrate
GaN thin film
Metalorganic chemical vapor
【基金项目】
:
国家教委跨世纪人才专项基金,国家自然科学基金
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采用金属有机化学气相淀积方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜的直接带隙宽度和光学参数。
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