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阐述了利用不同的方法，如自组装、嵌段共聚物辅助等方法在基底表面形成一层均匀的无机材料纳米粒子掩模，以此作为模板进行刻蚀，可得到各种纳米图形和纳米结构。这一方法具有操作简单、成本低、可批量生产等优点，在纳米电子器件等领域具有广泛的应用前景。
基于无机纳米粒子模板刻蚀的纳米阵列
【摘 要】
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阐述了利用不同的方法，如自组装、嵌段共聚物辅助等方法在基底表面形成一层均匀的无机材料纳米粒子掩模，以此作为模板进行刻蚀，可得到各种纳米图形和纳米结构。这一方法具有操作
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室．薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2006年3期
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