【摘 要】
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当前抛光参数数学建模分析方法精度低,建立新激光微加工的抛光参数数学模型,通过数学模型对沟壑的形成原理进行数学建模,获取不同抛光工艺参数对表面激光微加工质量影响的规
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当前抛光参数数学建模分析方法精度低,建立新激光微加工的抛光参数数学模型,通过数学模型对沟壑的形成原理进行数学建模,获取不同抛光工艺参数对表面激光微加工质量影响的规律,为获取最佳抛光参数组合提供理论依据。选用157 nm激光对表面进行抛光实验,通过最小二乘法求出不同轮廓中线的所有系数,获取轮廓中线的方程,将采样点与轮廓中线绝对值的算数平均值作为粗糙度值,建立粗糙度数学模型。通过激光光斑面积对作用于表面的激光能量密度进行描述,建立激光光斑面积数学模型。实验结果表明,所提模型精度很高。
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