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在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的特点.根据不同的应用要求可选用合适的超精密定位方案.
超精密定位工作台
【摘 要】
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在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年2期
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