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对于传统的好氧和厌氧而言，微氧水处理技术是在克服好氧反应能耗较大，厌氧反应器对于设备要求较高而出现的。微氧过程中包含的反应有短程硝化和反硝化、同时硝化与反硝化、氧化降解等反应，因此微氧水处理技术可以应用于有机物降解和深度处理：由于显著降低了曝气量，又不需要较高的设备要求，因此又是一种节能的技术。