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在多弧离子镀设备上沉积了TiN涂层 ,研究了不同沉积温度下TiN涂层的表面硬度及与基体的结合力。实验结果表明 ,在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度 ,有利于提高TiN涂层的性能。
多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响
【摘 要】
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在多弧离子镀设备上沉积了TiN涂层 ,研究了不同沉积温度下TiN涂层的表面硬度及与基体的结合力。实验结果表明 ,在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度 ,有利于提高TiN涂
【机 构】
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武汉汽车工业大学,武汉汽车工业大学,武汉汽车工业大学,武汉汽车工业大学,东风汽车公司
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2000年05期
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