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通过对实例版图从版图绘制、数据分割、格式转换和创建MEBES（生产用电子束曝光系统）工作文件几个方面来详细说明使用CATS（计算机辅助翻译系统）软件分割含圆的图形阵列所构成的掩模版的版图数据处理技巧。
使用CATS软件分割含圆阵列版图的技巧
【摘 要】
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通过对实例版图从版图绘制、数据分割、格式转换和创建MEBES（生产用电子束曝光系统）工作文件几个方面来详细说明使用CATS（计算机辅助翻译系统）软件分割含圆的图形阵列所构成的掩
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2013年2期
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