Optically pumped room temperature low threshold deep UV lasers grown on native AlN substrates

来源 :光电进展(英文版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangzhanglu
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We report here an optically pumped deep UV edge emitting laser with AlGaN multiple quantum wells (MQWs) active re-gion grown on AlN substrate by low pressure organometallic vapor phase epitaxy (LP-OMVPE) in a high-temperature reactor. The 21 period Al0.53Ga0.47N/Al0.7Ga0.3N MQWs laser structure was optically pumped using 193 nm deep UV excimer laser source. A laser peak was achieved from the cleaved facets at 280.3 nm with linewidth of 0.08 nm at room temperature with threshold power density of 320 kW/cm2. The emission is completely TE polarized and the side mode suppression ratio (SMSR) is measured to be around 14 dB at 450 kW/cm2.
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