IEED—DAPS装置球面栅的制造

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球面栅是低能电子衍射(LEED)和消隐电势谱(DAPS)等装置中的重要部件.本文叙述了我们LEED装置中的球面栅的初步研制结果.介绍了运用精密平面钨网制取球面栅的制造工艺和一些质量分析的初步结果. Spherical gratings are important components in devices such as low energy electron diffraction (LEED) and blanking potential spectrum (DAPS) .This article describes the preliminary development of the spherical gratings in our LEED device.We introduce the fabrication of the spherical gratings The manufacturing process and some preliminary results of quality analysis.
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