一种新型微机械陀螺的研究

来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户：einsun007

【摘要】

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设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联.计算结果表明,这种器件在大气压条

【作者】

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熊斌黄小振王跃林王渭源

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

【出处】

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高技术通讯

【发表日期】

：

2002年9期

【关键词】

：

硅微机械陀螺微机械加工技术深反应粒子刻蚀玻璃键合 Silicon Micromachine Gyroscope Micromachined te

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设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联.计算结果表明,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为140.同时,计算结果还表明可以获得比较平坦的较大带宽.采用硅-玻璃键合和深反应离子刻蚀技术制作了这种器件.

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