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本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数αk=-0.08%℃-1等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特性和线性度好,是传感器领域里很有希望的一种新器件。
微晶硅应变计压力传感器的研制
【摘 要】
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本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数αk=-0.08%℃-1等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特
【机 构】
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西北大学物理系,西北大学物理系,西北大学物理系
【出 处】
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西北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年03期
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