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磨粒粒径是影响抛光最重要的参数之一，是决定加工效率和工件表面质量的关键要素。采用1—3μm、2～4μm、3—5μm3种粒径的金刚石固结磨料抛光垫加工硫化锌晶体。分析磨粒粒径对工件表面质量和材料去除率的影响。实验结果表明，磨粒粒径对硫化锌晶体的固结磨料抛光影响显著，随着磨粒粒径的增大，固结磨料抛光硫化锌晶体的材料去除率增大，而表面质量变差。2—4μm金刚石固结磨料抛光垫加工硫化锌晶体可同时获得高材料去除率和优表面质量．材料去除率达到100nm／min．表面粗糙度为4．37nm。