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根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸;根据建立的陀螺振动的等效电路模型,对检测振动的性能进行了模拟分析,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础.
振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
【摘 要】
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根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸;根据建立的陀螺振动的等效电路模型,对检测振动的性能进行了模拟分析,该模型为
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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航空学报
【发表日期】
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2002年3期
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